Sự lắng đọng phún xạ Magnetron trong lĩnh vực phim chức năng
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
| phim chức năng | phim siêu cứng | TiN, TiC |
|
Phim cách nhiệt |
Cr, AlSi, AlTi, v.v. | |
| phim điện trở | NiCrSi, CrSi, MoTa, v.v. | |
| phim siêu dẫn | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| phim từ tính | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, v.v. |
nguyên tắc làm việc
Có nhiều loại phún xạ magnetron với nguyên lý làm việc và đối tượng ứng dụng khác nhau.Nhưng ở đó
có một điểm chung: nó làm cho các electron chạy theo đường xoắn ốc gần bề mặt mục tiêu bằng sự tương tác giữa
từ trường và điện trường, do đó làm tăng khả năng tạo ra các ion phát ra từ các electron va chạm với argon.
Các ion được tạo ra sau đó chạm vào bề mặt mục tiêu dưới tác động của điện trường và phun ra các vật liệu mục tiêu.
Đặc trưng
| Người mẫu | MSC-FF-X—X |
| loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
| chân không nền | < 5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤ ±3% |
| Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
| Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
| vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
| Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
| xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không;
→ Bật bơm phân tử, hút chân khôngở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và vòng quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi nhiệt độ đạt đếnMục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khihoạt động tự động kết thúc.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
