Lắng đọng phún xạ Magnetron trong ngành công nghiệp hiển thị
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
| Trưng bày | Phim dẫn điện trong suốt | ITO(In2O; -SnO2) |
| phim dây điện cực | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, Aita | |
| phim phát quang | ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2Ô3, Tạ2Ô5, BaTiO3 |
nguyên tắc làm việc
Là một phương pháp lắng đọng hơi vật lý (PVD) phổ biến, phún xạ magnetron có nhiều ưu điểm như chi phí thấp
nhiệt độ lắng đọng, tốc độ lắng đọng nhanh và tính đồng nhất tốt của màng lắng đọng.phún xạ truyền thống
công nghệ hoạt động như sau: trong môi trường chân không cao, các ion tới (Ar+) bắn phá mục tiêu dưới
tác động của điện trường để làm cho các nguyên tử hoặc phân tử trung lập trên bề mặt mục tiêu có đủ động năng để rời khỏi
bề mặt mục tiêu và lắng đọng trên bề mặt chất nền để tạo thành màng.Tuy nhiên, các electron sẽ trôi dạt dưới tác dụng của
điện trường và từ trường, dẫn đến hiệu suất phún xạ thấp.Các con đường bắn phá điện tử ngắn cũng dẫn đến
sự tăng lên của nhiệt độ chất nền.Để tăng hiệu quả phún xạ, một nam châm mạnh được lắp đặt dưới
mục tiêu với các cực N và S lần lượt ở tâm và chu vi của nó.Các electron được giới hạn xung quanh mục tiêu dưới
hành động của lực Lorentz, liên tục di chuyển theo vòng tròn, tạo ra nhiều Ar+ hơn để bắn phá mục tiêu, và cuối cùng là rất nhiều
tăng hiệu suất phún xạ.
Đặc trưng
| Người mẫu | MSC-DX—X |
| loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
| chân không nền | < 5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤ ±3% |
| Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
| Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
| vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
| Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
| xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không;
→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
