Sự lắng đọng phún xạ Magnetron trong ngành công nghiệp bán dẫn
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
| chất bán dẫn | IC, điện cực LSI, màng nối dây | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Điện cực bộ nhớ VLSI | Mo, W, Ti | |
| Phim rào cản khuếch tán | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| màng dính | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W |
nguyên tắc làm việc
Nguyên lý phún xạ Magnetron: dưới tác dụng của điện trường, các electron va chạm với các nguyên tử argon trong quá trình
bay đến bề mặt với tốc độ cao, ion hóa nhiều ion argon và electron, sau đó các electron bay đến
cơ chất.Các ion argon bắn phá mục tiêu với tốc độ cao dưới tác dụng của điện trường, làm bắn tung nhiều mục tiêu
nguyên tử, sau đó các nguyên tử (hoặc phân tử) mục tiêu trung tính lắng đọng trên đế để tạo thành màng.
Đặc trưng
| Người mẫu | MSC-SEM-X—X |
| loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
| chân không nền | < 5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤ ±3% |
| Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
| Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
| vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
| Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
| xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không;
→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
