Lắng đọng phún xạ Magnetron trong ngành quang học
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
| quang học |
Phim quang học như phim chống phản xạ, |
SiO2, TiO2, Tạ2Ô5, ZrO2, HfO2 |
| Kính phát thải thấp |
Nhiều lớp kim loại (bạc, đồng, thiếc, v.v.) |
|
| Kính dẫn trong suốt | ZnO:Al, v.v. |
nguyên tắc làm việc
Đặc điểm của phún xạ magnetron là tốc độ tạo màng cao, nhiệt độ đế thấp, màng bám dính tốt
và lớp phủ diện tích lớn có thể thực hiện được.Công nghệ này có thể được chia thành phún xạ từ trường DC và từ trường RF.
phún xạ.
Đặc trưng
| Mô hình | MSC-OX—X |
| loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
| chân không nền | < 5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤ ±3% |
| Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
| Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
| vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
| Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
| xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Dừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và quá trình làm sạch và làm mát kết thúc
hoàn thành, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
