Lắng đọng phún xạ Magnetron trong ngành điều trị y tế
Các ứng dụng
Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
Điều trị y tế | vật liệu tương thích sinh học | Al2Ô3, TiO2 |
nguyên tắc làm việc
Nguyên tắc cơ bản của phún xạ magnetron là các electron va chạm với các nguyên tử argon trong quá trình bay tới
cácchất nền dưới tác động của điện trường, các ion argon được tạo ra sẽ bắn phá bề mặt mục tiêu.Sau năng lượng
trao đổi,các nguyên tử trên bề mặt mục tiêu thoát ra khỏi mạng ban đầuvà được chuyển đến chất nền
bề mặt để tạo thành màng.
Đặc trưng
Người mẫu | MSC-MT-X—X |
loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
lớp phủ chân khôngbuồng size | 700mm * 750mm * 700mm (Tùy chỉnh) |
chân không nền | < 5×10-7mbar |
độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤ ±3% |
Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không;
→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc;
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi