Sự lắng đọng phún xạ Magnetron trong ngành công nghiệp pin màng mỏng Perovskite
Các ứng dụng
Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
Pin màng mỏng perovskite | Lớp dẫn điện trong suốt | ZnO:Al |
nguyên tắc làm việc
Phún xạ magnetron là để hạn chế và mở rộng quỹ đạo chuyển động của electron bằng từ trường, làm thay đổi chuyển động
hướng của điện tử, tăng tốc độ ion hóa khí công tác và sử dụng hiệu quả năng lượng của điện tử.
Phương pháp phún xạ magnetron có các đặc điểm sau: tốc độ lắng đọng nhanh, hiệu quả lắng đọng cao, phù hợp với
ứng dụng quy mô lớn trong sản xuất công nghiệp;nhiệt độ bề mặt thấp, thích hợp cho lớp phủ nhựa và
chất nền chịu nhiệt khác;độ tinh khiết cao của các bộ phim được chuẩn bị, độ nén tốt, độ đồng đều của bộ phim tốt hơn và mạnh mẽ
sự gắn kết giữa màng và chất nền;kim loại, hợp kim, oxit và các màng khác có thể được chuẩn bị;không ô nhiễm.
Đặc trưng
Người mẫu | MSC-PFB-X—X |
loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500 ℃ |
Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
chân không nền | < 5×10-7mbar |
độ dày lớp phủ | ≥ 10nm |
độ chính xác kiểm soát độ dày |
≤ ±3% |
Kích thước lớp phủ tối đa | ≥ 100mm (Tùy chỉnh) |
độ dày màng đồng nhất | ≤ ±0,5% |
Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
vật liệu mục tiêu | 4×4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
xử lý khí |
Ar, N2, ô2 |
Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không;
→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi