Lắng đọng lớp nguyên tử trong ngành công nghiệp cảm biến
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể |
|
cảm biến |
cảm biến khí |
| Cảm biến độ ẩm | |
| cảm biến sinh học |
nguyên tắc làm việc
Một chu kỳ lắng đọng lớp nguyên tử cơ bản bao gồm bốn bước:
1. Tiền chất đầu tiên sẽ được dẫn đến bề mặt chất nền và quá trình hấp thụ hóa học sẽ tự động
chấm dứtkhi bề mặt bão hòa;
2. Khí trơ Ar hoặc N2 và các sản phẩm phụ, loại bỏ tiền chất đầu tiên dư thừa;
3. Tiền chất thứ hai được tiêm và phản ứng với tiền chất thứ nhất được hấp phụ hóa học trên bề mặt chất nền để
hình thànhphim mong muốn.Quá trình phản ứng kết thúc cho đến khi phản ứng của tiền chất đầu tiên được hấp phụ trên
bề mặt chất nềnĐã được hoàn thành.Tiền chất thứ hai được tiêm và tiền chất dư thừa được xả ra
xa;
4. Khí trơ như Ar hay N2 và các sản phẩm phụ.
Quá trình phản ứng này được gọi là một chu kỳ: tiêm và xả tiền chất đầu tiên, tiêm và xả
thứ haitiền thân.Thời gian cần thiết cho một chu kỳ là tổng thời gian tiêm của tiền chất thứ nhất và thứ hai
cộng với hailần xả nước.Do đó, tổng thời gian phản ứng là số chu kỳ nhân với thời gian chu kỳ.
Đặc trưng
| Người mẫu | ALD-SEN-X—X |
| Hệ thống màng phủ | AL2Ô3,TiO2,ZnO, v.v. |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ |
Đường kính trong: 1200mm, Chiều cao: 500mm (Tùy chỉnh) |
| Cấu trúc buồng chân không | Theo yêu cầu của khách hàng |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥0,15nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ±0,1nm |
| kích thước lớp phủ | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², v.v. |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ± 0,5% |
| Tiền chất và khí mang |
Trimetyl nhôm, titan tetraclorua, kẽm dietyl,nước tinh khiết, |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Ngừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và quá trình làm sạch và làm mát iS
hoàn thành, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
