Lắng đọng lớp nguyên tử trong ngành năng lượng
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể |
| Năng lượng | Pin mặt trời silicon tinh thể: lớp thụ động / lớp đệm / điện cực trong suốt |
| Các tế bào nhạy cảm với thuốc nhuộm: lớp rào cản tái hợp quang điện cực / điện tích | |
| Pin nhiên liệu: màng trao đổi proton / cực âm / chất điện phân / chất xúc tác | |
| Pin lithium ion: cấu trúc nano cực dương / cực âm / lớp phủ biến đổi điện cực | |
vật liệu nhiệt điện | |
| Lớp bảo vệ vật liệu điện cực |
nguyên tắc làm việc
Có bốn bước trong quá trình lắng đọng lớp nguyên tử:
1. Bơm khí tiền chất đầu tiên vào chất nền để xảy ra phản ứng hấp phụ với bề mặt chất nền.
2. Sục khí còn lại bằng khí trơ.
3. Bơm khí tiền chất thứ hai để xảy ra phản ứng hóa học với khí tiền chất thứ nhất được hấp phụ trên đế
bề mặt để tạo thành phim.
4. Bơm khí trơ một lần nữa để xả hết khí thừa.
Đặc trưng
| Người mẫu | ALD-EX—X |
| Hệ thống màng phủ | AL2Ô3,TiO2,ZnO, v.v. |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | Đường kính trong: 1200mm, Chiều cao: 500mm (Tùy chỉnh) |
| Cấu trúc buồng chân không | Theo yêu cầu của khách hàng |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥0,15nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ±0,1nm |
| kích thước lớp phủ | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², v.v. |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ± 0,5% |
| Tiền chất và khí mang | Trimetyl nhôm, titan tetraclorua, kẽm dietyl, nước tinh khiết, |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Bước quy trình
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Dừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và quá trình làm sạch và làm mát kết thúc
hoàn thành, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
