Sự lắng đọng lớp nguyên tử trong ngành công nghiệp hệ thống cơ điện vi mô
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể |
|
Hệ thống cơ điện vi mô (MEMS) |
lớp phủ chống mài mòn |
| Lớp phủ chống bám dính | |
| lớp phủ bôi trơn |
nguyên tắc làm việc
Một lớp nguyên tử duy nhất sẽ được lắng đọng trong mỗi chu trình xử lý.Quá trình tráng phủ thường xảy ra trong phản ứng
buồng, và các khí quá trình được bơm liên tiếp.Ngoài ra, chất nền có thể được chuyển giữa hai
các vùng chứa đầy các tiền chất khác nhau (ALD không gian) để thực hiện quy trình.Toàn bộ quá trình, bao gồm tất cả các phản ứng
và các hoạt động thanh lọc, sẽ được lặp đi lặp lại nhiều lần cho đến khi đạt được độ dày màng mong muốn.cụ thể
trạng thái pha ban đầu được xác định bởi tính chất bề mặt của chất nền, sau đó độ dày màng sẽ tăng lên
liên tục với sự gia tăng số chu kỳ phản ứng. Cho đến nay, độ dày màng có thể được kiểm soát chính xác.
Đặc trưng
| Người mẫu | ALD-MEMS-X—X |
| Hệ thống màng phủ | AL2Ô3,TiO2,ZnO, v.v. |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ |
Đường kính trong: 1200mm, Chiều cao: 500mm (Tùy chỉnh) |
| Cấu trúc buồng chân không | Theo yêu cầu của khách hàng |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥0,15nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ±0,1nm |
| kích thước lớp phủ | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², v.v. |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ± 0,5% |
| Tiền chất và khí mang |
Trimetyl nhôm, titan tetraclorua, kẽm dietyl, nước tinh khiết, |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Dừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và quá trình làm sạch và làm mát kết thúc
hoàn thành, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
