Lắng đọng lớp nguyên tử trong ngành quang học
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể |
| quang học | linh kiện quang học |
| tinh thể quang tử | |
| Màn hình điện phát quang | |
| Quang phổ Raman tăng cường bề mặt | |
| oxit dẫn điện trong suốt | |
Lớp sáng, lớp thụ động, lớp bảo vệ bộ lọc, lớp phủ chống phản chiếu, chống tia cực tím |
nguyên tắc làm việc
Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), ban đầu được gọi là epitaxy lớp nguyên tử, còn được gọi là hơi hóa học lớp nguyên tử
lắng đọng(ALCVD), là một dạng lắng đọng hơi hóa học (CVD) đặc biệt.Công nghệ này có thể lắng đọng các chất
trên bề mặtcủa chất nền ở dạng màng nguyên tử đơn từng lớp, tương tự như hóa chất thông thường
lắng đọng, nhưng trongquá trình lắng đọng lớp nguyên tử, phản ứng hóa học của một lớp màng nguyên tử mới được trực tiếp
Liên quan đếnlớp trước, do đó chỉ có một lớp nguyên tử được lắng đọng trong mỗi phản ứng bằng phương pháp này.
Đặc trưng
| Người mẫu | ALD-OX—X |
| Hệ thống màng phủ | AL2Ô3,TiO2,ZnO, v.v. |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | Đường kính trong: 1200mm, Chiều cao: 500mm (Tùy chỉnh) |
| Cấu trúc buồng chân không | Theo yêu cầu của khách hàng |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥0,15nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ±0,1nm |
| kích thước lớp phủ | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², v.v. |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ± 0,5% |
| Tiền chất và khí mang | Trimetyl nhôm, titan tetraclorua, kẽm dietyl, nước tinh khiết, |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Dừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và quá trình làm sạch và làm mát kết thúc
hoàn thành, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
