Lắng đọng lớp nguyên tử ALD
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu ALD |
| thiết bị MEMS | Khắc lớp rào cản | Al2Ô3 |
| Lớp bảo vệ | Al2Ô3 | |
| lớp chống liên kết | TiO2 | |
| lớp kỵ nước | Al2Ô3 | |
| lớp liên kết | Al2Ô3 | |
| Lớp chống mài mòn | Al2Ô3, TiO2 | |
| Lớp chống đoản mạch | Al2Ô3 | |
| Lớp tản điện tích | ZnO: Al | |
| Màn hình điện phát quang | lớp sáng | ZnS:Mn/Er |
| lớp thụ động | Al2Ô3 | |
| Vật liệu lưu trữ | vật liệu sắt điện | HfO2 |
| vật liệu thuận từ | Gđ2Ô3, ơ2Ô3, Dy₂O₃, Ho2Ô3 | |
| khớp nối không từ tính | Ru, Ir | |
| điện cực | kim loại quý | |
| Khớp nối cảm ứng (ICP) | Lớp điện môi cổng cao | HfO2, TiO2, Tạ2Ô5, ZrO₂ |
| Pin năng lượng mặt trời silic tinh thể | thụ động bề mặt | Al2Ô3 |
| Pin màng mỏng Perovskite | Lớp đệm | ZnxMnyO |
| Lớp dẫn điện trong suốt | ZnO: Al | |
| bao bì 3D | Through-Silicon-Vias (TSV) | Cu, Ru, TiN |
| Ứng dụng dạ quang | Lớp thụ động OLED | Al2Ô3 |
| cảm biến | Lớp thụ động, vật liệu độn | Al2Ô3, SiO2 |
| Điều trị y tế | vật liệu tương thích sinh học | Al2Ô3, TiO2 |
| Lớp bảo vệ chống ăn mòn | Lớp chống ăn mòn bề mặt | Al2Ô3 |
| pin nhiên liệu | Chất xúc tác | Pt, Pd, Rh |
| pin lithium | Lớp bảo vệ vật liệu điện cực | Al2Ô3 |
| Đầu đọc ghi đĩa cứng | lớp thụ động | Al2Ô3 |
| lớp phủ trang trí | Phim màu, phim kim loại | Al2Ô3, TiO2 |
| Lớp phủ chống đổi màu | Lớp phủ chống oxy hóa kim loại quý | Al2Ô3, TiO2 |
| phim quang học | Chỉ số khúc xạ cao-thấp |
MgF2, SiO2, ZnS, TiO2, Tạ2Ô5, ZrO2, HfO2 |
nguyên tắc làm việc
Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) là phương pháp lắng đọng các chất trên bề mặt chất nền trong
dạng màng đơn nguyên tử từng lớp.Lắng đọng lớp nguyên tử tương tự như lắng đọng hóa học thông thường,
nhưng trong quá trìnhcủa sự lắng đọng lớp nguyên tử, phản ứng hóa học của một lớp màng nguyên tử mới là trực tiếp
liên kết với lớp trước đó, do đó chỉ có một lớp nguyên tử được lắng đọng trong mỗi phản ứng bằng phương pháp này.
Đặc trưng
| Mô hình | ALD1200-500 |
| Hệ thống màng phủ | AL2Ô3,TiO2,ZnO, v.v. |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | Đường kính trong: 1200mm, Chiều cao: 500mm (Tùy chỉnh) |
| Cấu trúc buồng chân không | Theo yêu cầu của khách hàng |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥0,15nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ±0,1nm |
| kích thước lớp phủ | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², v.v. |
| độ dày màng đồng nhất | ≤ ± 0,5% |
| Tiền chất và khí mang |
Trimetyl nhôm, titan tetraclorua, kẽm dietyl, nước tinh khiết, nitơ, v.v. ( C₃H₉Al, TiCl4, C₄HZn,H2O,N₂, v.v.) |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không buồng chân không ở nhiệt độ cao và thấp, đồng thời xoay đế;
→ Bắt đầu phủ: chất nền được tiếp xúc với tiền chất theo trình tự và không có phản ứng đồng thời;
→ Làm sạch nó bằng khí nitơ có độ tinh khiết cao sau mỗi phản ứng;
→ Dừng quay bề mặt sau khi độ dày màng đạt tiêu chuẩn và hoạt động tẩy và
làm mát xong, sau đó lấy chất nền ra sau khi đáp ứng các điều kiện phá vỡ chân không.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Tập đoàn ZEIT, được thành lập vào năm 2018, là một công ty tập trung vào quang học chính xác, vật liệu bán dẫn và thiết bị tình báo công nghệ cao.Dựa trên những lợi thế của chúng tôi trong việc gia công chính xác lõi và màn hình, phát hiện quang học và lớp phủ, Tập đoàn ZEIT đã và đang cung cấp cho khách hàng của mình các gói giải pháp sản phẩm tùy chỉnh và tiêu chuẩn hóa hoàn chỉnh.
Tập trung vào đổi mới công nghệ, Tập đoàn ZEIT có hơn 60 bằng sáng chế trong nước vào năm 2022 và thiết lập mối quan hệ hợp tác nghiên cứu-trường cao đẳng-doanh nghiệp rất chặt chẽ với các viện, trường đại học và hiệp hội công nghiệp trên toàn thế giới.Thông qua đổi mới, tài sản trí tuệ tự sở hữu và xây dựng các nhóm thử nghiệm quy trình chính, Tập đoàn ZEIT đã trở thành cơ sở phát triển để ươm tạo các sản phẩm công nghệ cao và cơ sở đào tạo nhân sự cấp cao.
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
