Lắng đọng phún xạ PVD Magnetron
Các ứng dụng
| Các ứng dụng | Mục đích cụ thể | Loại vật liệu |
| chất bán dẫn | IC, điện cực LSI, màng nối dây | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Điện cực bộ nhớ VLSI | Mo, W, Ti | |
| Phim rào cản khuếch tán | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| màng dính | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W | |
| Trưng bày | Phim dẫn điện trong suốt | ITO(In2O; -SnO2) |
| phim dây điện cực | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, Aita | |
| phim phát quang |
ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2Ô3, Tạ2Ô5, BaTiO3 |
|
| Ghi từ tính | Phim ghi từ dọc | CoCr |
| Phim cho đĩa cứng | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Đầu nam châm màng mỏng | CoTaZr, CoCrZr | |
| Màng pha lê nhân tạo | CoPt, CoPd | |
| ghi quang | Phim ghi đĩa thay đổi pha | TeSe, SbSe, TeGeSb, v.v. |
| Phim ghi đĩa từ |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Phim phản chiếu đĩa quang | Hợp kim AI, AITi, AlCr, Au, Au | |
| Phim bảo vệ đĩa quang | sĩ3N4, SiO2+ZnS | |
| Pin màng mỏng Perovskite | Lớp dẫn điện trong suốt | ZnO:Al |
| Điều trị y tế | vật liệu tương thích sinh học | Al2Ô3, TiO2 |
| lớp phủ trang trí | Phim màu, phim Metallized | Al2Ô3, TiO2, và tất cả các loại phim kim loại |
| Lớp phủ chống đổi màu | Lớp phủ chống oxy hóa kim loại quý | Al2Ô3, TiO2 |
| phim quang học | Chỉ số khúc xạ cao-thấp | SiO2, TiO2, Tạ2Ô5, ZrO₂, HfO2 |
| Các ứng dụng khác | Phim cách nhiệt | Cr, AlSi, AlTi, v.v. |
| phim điện trở | NiCrSi, CrSi, MoTa, v.v. | |
| phim siêu dẫn | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| phim từ tính | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, v.v. |
nguyên tắc làm việc
Phún xạ Magnetron là một loại lắng đọng hơi vật lý (PVD).Nó làm cho các electron chuyển động theo hình xoắn ốc
con đường gầnbề mặt mục tiêu bởi sự tương tác giữa từ trường và điện trường, do đó làm tăng
xác suất của electronchạm vào khí argon để tạo ra các ion. Các ion được tạo ra sau đó chạm vào bề mặt mục tiêu
dưới tác dụng của điện trường vàphún xạ các vật liệu mục tiêu để lắng đọng màng mỏng trên bề mặt chất nền.
Phương pháp phún xạ chung có thể được sử dụngđể điều chế các kim loại khác nhau, chất bán dẫn, sắt từ
vật liệu, cũng như oxit cách điện, gốm sứ vàcác chất khác.Thiết bị sử dụng PLC + cảm ứng
bảng điều khiển hệ thống điều khiển HMI, có thể nhập thông số bằng cáchgiao diện quy trình có thể lập trình, với các chức năng
chẳng hạn như phún xạ đơn mục tiêu, phún xạ tuần tự đa mục tiêuvà đồng phún xạ.
Đặc trưng
| Người mẫu | MSC700-750-700 |
| loại lớp phủ | Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN |
| phạm vi nhiệt độ lớp phủ | Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh) |
| Kích thước buồng chân không lớp phủ | 700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh) |
| chân không nền | <5×10-7mbar |
| độ dày lớp phủ | ≥10nm |
| độ chính xác kiểm soát độ dày | ≤±3% |
| Kích thước lớp phủ tối đa | ≥100mm (Tùy chỉnh) |
| độ dày màng đồng đều | ≤ ± 0,5% |
| Chất mang | Với cơ chế quay hành tinh |
| Vật liệu mục tiêu | 4x4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống) |
| Nguồn cấp | Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn |
| xử lý khí | Ar, N2, ô2 |
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | |
mẫu phủ
Các bước xử lý
→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;
→ Hút chân không thô sơ;
→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;
→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;
→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;
→ Yếu tố trong sạch;
→ Quay trở lại điểm gốc;
→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;
→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;
→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc.
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
