Gửi tin nhắn
ZEIT Group 86-28-62156220-810 hua.du@zeit-group.com
Dielectric Films Optical Coating Equipment PVD Magnetron Sputter Deposition Machine

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron

  • Điểm nổi bật

    Phim điện môi ZEIT Thiết bị phủ quang học

    ,

    Phim điện môi ZEIT Máy lắng đọng phún xạ Magnetron PVD

    ,

    Máy lắng đọng phún xạ phim điện môi

  • Cân nặng
    2500 ± 200kg, Tùy chỉnh
  • Kích cỡ
    2800mm*1000mm* 2300mm, Có thể tùy chỉnh
  • Phim ghi từ dọc
    CoCr
  • Vật liệu mục tiêu
    4x4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống)
  • xử lý khí
    Ar, N2, O2
  • độ dày lớp phủ
    ≥10nm
  • Chất mang
    Với cơ chế quay hành tinh
  • Người mẫu
    MSC700-750-700
  • Thương hiệu
    ZEIT
  • Nguồn gốc
    Thành Đô, CHND Trung Hoa
  • Hàng hiệu
    ZEIT
  • Chứng nhận
    Case by case
  • Số mô hình
    MSC700-750-700
  • Số lượng đặt hàng tối thiểu
    1 bộ
  • Giá bán
    Case by case
  • chi tiết đóng gói
    vỏ gỗ
  • Thời gian giao hàng
    Từng trường hợp
  • Điều khoản thanh toán
    T/T
  • Khả năng cung cấp
    Từng trường hợp

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron

Phim điện môi Thiết bị phủ quang Ar N2 O2 PVD Lắng đọng phún xạ Magnetron

 

Các ứng dụng

Các ứng dụng  Mục đích cụ thể  Loại vật liệu
chất bán dẫn  IC, điện cực LSI, màng nối dây  AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag
 Điện cực bộ nhớ VLSI  Mo, W, Ti
 Phim rào cản khuếch tán  MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti
 màng dính  PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W
 Trưng bày  Phim dẫn điện trong suốt  ITO(In2O; -SnO2)
 phim dây điện cực   Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, Aita
 phim phát quang

 ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2Ô3, Tạ2Ô5,

 BaTiO3

 Ghi từ tính  Phim ghi từ dọc  CoCr
 Phim cho đĩa cứng  CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt
 Đầu nam châm màng mỏng  CoTaZr, CoCrZr
 Màng pha lê nhân tạo  CoPt, CoPd
ghi quang  Phim ghi đĩa thay đổi pha  TeSe, SbSe, TeGeSb, v.v.
 Phim ghi đĩa từ

 TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo,

TbDyFeCo

 Phim phản chiếu đĩa quang  Hợp kim AI, AITi, AlCr, Au, Au
 Phim bảo vệ đĩa quang  3N4, SiO2+ZnS
 Pin màng mỏng Perovskite  Lớp dẫn điện trong suốt  ZnO:Al
 Điều trị y tế  vật liệu tương thích sinh học  Al2Ô3, TiO2
 lớp phủ trang trí  Phim màu, phim Metallized  Al2Ô3, TiO2, và tất cả các loại phim kim loại
 Lớp phủ chống đổi màu  Lớp phủ chống oxy hóa kim loại quý Al2Ô3, TiO2
 phim quang học  Chỉ số khúc xạ cao-thấp  SiO2, TiO2, Tạ2Ô5, ZrO₂, HfO2
 Các ứng dụng khác  Phim cách nhiệt  Cr, AlSi, AlTi, v.v.
 phim điện trở  NiCrSi, CrSi, MoTa, v.v.
 phim siêu dẫn  YbaCuO, BiSrCaCuo
 phim từ tính  Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, v.v.

 

Đặc trưng

  Người mẫu   MSC700-750-700
  loại lớp phủ   Các màng điện môi khác nhau như màng kim loại, oxit kim loại và AIN
  phạm vi nhiệt độ lớp phủ   Nhiệt độ bình thường đến 500℃ (Có thể tùy chỉnh)
  Kích thước buồng chân không lớp phủ   700mm*750mm*700mm (Tùy chỉnh)
  chân không nền   <5×10-7mbar
 độ dày lớp phủ   ≥10nm
  độ chính xác kiểm soát độ dày   ≤±3%
  Kích thước lớp phủ tối đa   ≥100mm (Tùy chỉnh)
  độ dày màng đồng đều   ≤ ± 0,5%
  Chất mang   Với cơ chế quay hành tinh
  Vật liệu mục tiêu   4x4 inch (tương thích với 4 inch trở xuống)
  Nguồn cấp  Các nguồn cung cấp năng lượng như DC, xung, RF, IF và sai lệch là tùy chọn
  xử lý khí   Ar, N2, ô2
  Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn.

                                                                                                                

Các bước xử lý

→ Đặt chất nền để phủ vào buồng chân không;

→ Hút chân không thô sơ;

→ Bật bơm phân tử, hút chân không ở tốc độ cao nhất, sau đó bật vòng quay và quay;

→ Làm nóng buồng chân không cho đến khi đạt đến nhiệt độ mục tiêu;

→ Thực hiện kiểm soát nhiệt độ không đổi;

→ Yếu tố trong sạch;

→ Quay trở lại điểm gốc;

→ Phủ màng theo yêu cầu quy trình;

→ Hạ nhiệt độ và dừng cụm bơm sau khi sơn phủ;

→ Ngừng hoạt động khi hoạt động tự động kết thúc.

 

mẫu phủ

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 0

 

nguyên tắc làm việc

Phún xạ Magnetron là một loại lắng đọng hơi vật lý (PVD).Nó làm cho các electron chuyển động theo hình xoắn ốc

các đường gần bề mặt mục tiêu bởi sự tương tác giữa từ trường và điện trường, do đó làm tăng

xác suất của electronchạm vào khí argon để tạo ra các ion. Các ion được tạo ra sau đó chạm vào bề mặt mục tiêu

dưới tác dụng của điện trường vàphún xạ các vật liệu mục tiêu để lắng đọng màng mỏng trên bề mặt chất nền.

Phương pháp phún xạ chung có thể được sử dụngđể điều chế các kim loại khác nhau, chất bán dẫn, sắt từ

vật liệu, cũng như oxit cách điện, gốm sứ vàcác chất khác.Thiết bị sử dụng PLC + cảm ứng

bảng điều khiển hệ thống điều khiển HMI, có thể nhập thông số bằng cáchgiao diện quy trình có thể lập trình, với các chức năng

chẳng hạn như phún xạ đơn mục tiêu, phún xạ tuần tự đa mục tiêuvà đồng phún xạ.

 

Lợi ích của chúng ta

Chúng tôi là nhà sản xuất.

Quá trình trưởng thành.

Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.

 

Chứng nhận ISO của chúng tôi

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 1

 

 

Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 2Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 3

 

 

Các phần của giải thưởng của chúng tôi

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 4Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tại Tập đoàn ZEIT, chúng tôi giải quyết mọi lo lắng của bạn thông qua việc cung cấp dịch vụ tùy chỉnh cao cấp, là đối tác đáng tin cậy và cung cấp các giải pháp công nghệ chưa từng có.Các kỹ sư dịch vụ tại hiện trường được chứng nhận của chúng tôi cung cấp hỗ trợ toàn cầu về phạm vi bảo hiểm suốt ngày đêm để giúp R&D hoặc các mục tiêu sản xuất của bạn đi đúng hướng.

 

Bảo hiểm xung quanh đồng hồ và vòng quanh thế giới
  • Các chuyên gia hỗ trợ kỹ thuật toàn cầu để quản lý báo cáo sản phẩm và giải quyết vấn đề một cách nhanh chóng.
  • Phụ tùngkết hợpvới một dấu chân toàn cầu, mọi thời tiếtphản ứngvà giao hàng nhanh.
  • Sẵn có của cài đặtvà gỡ lỗi.
 
Cải thiện và mở rộng khả năng của bạn
  • Nâng cấp và sửa chữa các chương trình cục bộ để giảm chi phí sở hữu và giảm thời gian quay vòng.
  • Nguồn chia sẻđể mở rộng kinh doanh hiện tại của bạn.
 
Bảo hiểm toàn diện bởi các kỹ sư dịch vụ hiện trường giỏi nhất
  • Các chương trình đảm bảo hiệu suất như chi phí được đảm bảo hoặc thời gian hoạt động.
  • Các chương trình hỗ trợ sản xuất để trang trải công cụ hoặc nhóm của bạn cho bất kỳ vấn đề nào với việc lập kế hoạch bộ phận và nhân sự chủ động của chúng tôi.

Phim điện môi Thiết bị phủ quang học Máy lắng đọng PVD Magnetron 6