Máy dò khuyết tật bề mặt vật liệu bán dẫn
Các ứng dụng
Để kiểm soát quy trình và quản lý năng suất của mặt nạ trống trong các lĩnh vực màn hình bán dẫn và
tích hợpsản xuất chip mạch, chúng tôi sử dụng các công nghệ kiểm tra quang thông lượng cao để thực hiện nhanh và
tự động chính xácphát hiện các khuyết tật bề mặt của mặt nạ trống.Theo nhu cầu của người dùng chuyên nghiệp,
chúng tôi đã phát triển hàng loạtmáy kiểm tra MASK thông lượng cao với chất lượng đáng tin cậy và chi phí cao
tỷ lệ hiệu suất, để giúp thủy tinhcơ chất,các nhà sản xuất mặt nạ và bảng điều khiển để xác định và giám sát mặt nạ
khiếm khuyết, giảm rủi ro năng suất và cải thiệncủa họkhả năng độc lập của R&D đối với các công nghệ cốt lõi.
nguyên tắc làm việc
Liên quan đến mức độ và loại khuyết tật bề mặt, thấu kính viễn tâm 4x, ánh sáng vòng góc cụ thể và ánh sáng đồng trục
nguồnđược chọn làm phương pháp trực quan.Khi thiết bị đang chạy, mẫu di chuyển dọc theo X
hướng vàmô-đun tầm nhìn thực hiện phát hiện lỗi dọc theo hướng Y.
Đặc trưng
| Người mẫu | SDD0,5-0,5 | |
|
phát hiện hiệu suất |
Loại lỗi có thể phát hiện | Trầy xước, Bụi |
| Kích thước lỗi có thể phát hiện | 1μm | |
|
độ chính xác phát hiện (đo) |
100% phát hiện lỗi / thu hồi khuyết tật (trầy xước, bụi) |
|
| hiệu quả phát hiện |
≤10 phút (Giá trị đo được: Mặt nạ 350mm x 300mm) |
|
|
Hiệu suất hệ thống quang học |
Nghị quyết | 1,8μm |
| độ phóng đại | 40 lần | |
| trường thị giác | 0,5mm x 0,5mm | |
| ánh sáng xanh chiếu sáng | 460nm,2,5w | |
|
Hiệu suất nền tảng chuyển động
|
Chuyển động hai trục X, Y Độ phẳng của mặt bàn bằng đá cẩm thạch: 2,5μm Độ chính xác hết hướng trục Y của trục Y: ≤ 10,5μm Độ chính xác hết hướng trục Y của trục Y: ≤8,5μm
|
|
| Lưu ý: Sản xuất tùy chỉnh có sẵn. | ||
Hình ảnh phát hiện
Lợi ích của chúng ta
Chúng tôi là nhà sản xuất.
Quá trình trưởng thành.
Trả lời trong vòng 24 giờ làm việc.
Chứng nhận ISO của chúng tôi
Các bộ phận của bằng sáng chế của chúng tôi
Các phần của giải thưởng và trình độ R&D của chúng tôi
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
