Trung tâm công nghệ sơn phủ ZEIT đã thực hiện dự án phát triển quy trình PECVD Tô Châu.Sau nửa tháng phát triển quy trình và đột phá công nghệ, ZEIT đã hoàn thành quy trình PECVD của màng SiNx và SiO2, đạt các chỉ số về độ đồng nhất bề mặt và độ đồng đều từng lớp.
Thông qua dự án này, ZEIT đã hình thành các đặc điểm riêng trong các công nghệ cốt lõi của thiết bị PECVD, chẳng hạn như kết hợp RF, áp suất phản ứng nhanh và ổn định, phân phối luồng không khí đồng đều và cũng đã đề xuất các giải pháp chống ô nhiễm bụi, bề mặt màng có hoa văn, tự làm sạch buồng , v.v. Từ đó, ZEIT đã tích lũy được nhiều kinh nghiệm về tối ưu hóa thiết bị PECVD và điều chỉnh công nghệ, điều này đã đặt nền móng vững chắc cho việc thay thế nhập khẩu, công nghiệp hóa và duy trì quan hệ khách hàng.
